Ускоритель ионов на энергии до 10 кэВ позволяет модифицировать приповерхностные слои образцов под действием ионного пучка. Магнитная масс-сепарация обеспечивает отсутствие примесных ионов в пучке. Камера образцов снабжена поворотным механизмом для одновременной загрузки до 6 образцов.
