Экспериментальный тракт предназначен для изучения эффекта распыления мишеней под действием ионных пучков в условиях сверхвысокого вакуума в среднем энергетическом диапазоне (50-500 кэВ). Специально разработанная коллекторная методика позволяет изучать угловые распределения распыляемых мишеней.

Линия распыления в разрезе

Универсальная сверхвысоковакуумная установка ≪УСУ-4≫ с рабочим давлением ~4∙10-8 торр с возможностью откачки до ~10-11 торр при прогреве камеры и использовании титано-сублимационного насоса. Манипулирование образцов осуществляется гониометром с шагом 0.01 мм по осям и 0.01 градуса при повороте, рабочая область 4см.